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株式会社CPSは理科学機器販売を専門とする提案型の会社です。

TEL. 029-879-5178

〒300-0812 茨城県土浦市下高津4丁目1-46

排気装置等HEADLINE

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UHV小型実験ステーション

メインチェンバー KIMBALL製丸型チェンバー
         TMP+ドライポンプ
ロードロック室  KIMBALL製丸型チェンバー
         TMP+ドライポンプ(メイン用と共用)
サンプル受渡し  ストローク400mm搬送機構
架台占有面積   700mm×700mm

*極小スペースで本格的なUHV環境での実験が行えます。






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マルチポートドライ排気セット

吸気ポート    ストップバルブ付×4ポート
サービスポート  NW25×2ポート
真空計      コールドカソード型
メインポンプ   TMP
粗引きポンプ   アイソレートバルブ付ドライポンプ
アルミ製専用架台 キャスター/アジャスター付
                             

*これ一台で複数箇所の排気操作が可能です。






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真空保管容器

容器本体     φ350mm大口径 SUS316L
蓋部材質     アルミ製
架台       SUS304 クリーンルームでの使用が可能
真空ポンプ    アイソレートバルブ付ドライポンプ
真空計      ピラニー真空計
全高       蓋部の取っ手を含めて730mm



*詳細は要相談といたします。




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イオンポンプユニット

マニホールド   SUS304(オプションでSUS316Lも可能)
イオンポンプ   240L/sスターセルイオンポンプ
架台       キャスター/アジャスター付
         架台上面に光学機器の設置が可能




*詳細は要相談といたします。





バナースペース

株式会社CPS

〒300-0812
茨城県土浦市下高津4丁目1-46

TEL 029-879-5178
FAX 029-879-5179
お問い合わせメールアドレス:
miyamoto@chem-phys.com


規格品ガイド

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