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株式会社CPSは理科学機器販売を専門とする提案型の会社です。

TEL. 029-879-5178

〒300-0812 茨城県土浦市下高津4丁目1-46

規格品ガイドSERVICE&PRODUCTS

理科学用品真空コンポーネント真空配管部品/消耗品電流端子/ケーブル

 真空コンポーネント   


真空計各種 四重極質量分析計
 真空計

キャパシタンスマノメータからホットカソード/コールドカソードなどのUHV対応真空計をご用意
マルチコントロール/モニタータイプもございます。

 真空系内蔵四重極質量分析計(RGA-QMS)

ピラニゲージ/B-Aゲージを内蔵した四重極質量分析計で、高真空までの真空モニターに、他に真空計を用意する必要はありません。
他にもTDS測定や高分解能測定に適した製品をご用意致します。

                     詳しくはこちら→

UHV排気ポンプ   低真空用真空ポンプ
 ターボ分子ポンプ

標準型のターボ分子ポンプはもちろん、磁気浮上型のTMPやイオンポンプなど、目的に応じた最適な機種をご紹介致します。

 真空粗引きポンプ

ダイアフラムポンプから高気密性のドライポンプまで、幅広く取り揃えております。

真空用バルブ類 直線導入機/回転導入機
 真空用バルブ類

チェンバーリークバルブ、ガス導入用バルブ、微量ガス導入バルブ、アングルバルブ、ストレートバルブ、ゲートバルブなど

 直線導入機、回転導入機

ベローズ式のUHV対応直線導入機、回転導入機をご用意
その他、ウォーブルスティックなどもご用意致します。

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XYZマニピュレータ  差動排気型UHVロータリーステージ
 3軸マニピュレータ

標準的なXYZ3軸マニピュレータから、大口径タイプ、精密駆動型、XYステージ、Zステージなど、ご要望にお応えします。
詳細打ち合わせによる専用機やサンプル周りを含めた仕様についてもきめ細かくご対応致します。
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 ロータリーステージ

1段差動排気型の薄型ロータリーステージで、φ70CF〜φ203CFをラインナップ。
高精度の位置再現性と回転ムラや軸ブレを極限まで抑えたエンコーダー付のタイプもございます。

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 トランスファーロッド   ポートアライナー
 MECA2000トランスファーロッド

ラックアンドピニオン式の高剛性タイプからマグネットカップリング方式まで、ご用意
ストロークなどご要望に応じます。
                  詳しくはこちら→

 

簡易的にフランジのXY平行移動調整が可能なタイプと、
それに加えチルト調節がついた2機種をご用意しました。
ボルト調整式のベローズニップルでは物足りないが、
XYステージまでは不要、と言った場合に最適です。
                   
詳しくはこちら→

  低エネルギーイオンソース 蒸発源各種
 低エネルギーイオンソース

クリーニング用の簡易型小型イオンソースから、高性能のイオンソースまでご用意致します。

 クヌードセン・セル(K-Cell)

抵抗加熱式蒸発源からスパッタソース、クヌードセン・セル、電子衝撃型蒸発源までご用意致します。
          参考ページ(MECA2000)はこちら →
          MBE KOMPONENTENはこちら →
    

 ALD対応マルチコントローラー  プリカーサー容器
 資料加熱機構

バルブ、MFC等のレシピ構築・レシピ操作を可能にします。
最大で、エアオペレーションバルブ×32台、MFC×10台の操作が可能です。
DeviceNet準拠品のため、簡単な接続でシステム構築が可能で、設定もタッチパネルにより操作できます。

NEW!!

 e-ビームエバポレータ

各種CVD装置、ALD装置の材料供給用の容器になります。
接続部はVCRの他にICFフランジもご用意しております。
材料によって仕様打ち合わせも可能です。

NEW!!

基板保持機構/ホルダー   e-ビームエバポレータ
  資料加熱機構

表面分析用の基板ホルダーから蒸着用の基板ホルダーまでご相談に応じます。
輻射加熱、電子衝撃型、通電加熱、ランプ加熱の他にも、冷却機構や様々な受渡し方法、各種基板ホルダーまで、ご相談下さい。

  e-ビームエバポレータ

オックスフォード社のユニークな4ポケットe-ビームエバポレータから、その他の様々なe-ビームエバポレータまでご用意致します。


バナースペース

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FAX 029-879-5179
お問い合わせメールアドレス:
miyamoto@chem-phys.com


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