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株式会社CPSは理科学機器販売を専門とする提案型の会社です。

TEL. 029-879-5178

〒300-0812 茨城県土浦市下高津4丁目1-46

RGAハイブリッド真空計システム例HEADLINE

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オリフィス型

測定可能圧力=10Pa (7.5×10-2Torr)以下でご使用になれます。
測定対象のチェンバーに直結してお使い下さい。











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大気圧測定用・バルブ導入型

測定可能圧力=大気圧以下でご使用になれます。
ガス導入バルブにサンプリングのための配管を接続しお使い下さい。












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全圧/分圧切り替え用ゲートバルブ付型

大気圧〜10-7Paの範囲の全圧測定及び、10-1Pa以下での分圧測定が可能です。
10-1Pa以下での全圧及び分圧測定にはゲートバルブ、バイパスライン、ターボ分子ポンプは不要ですが、測定対象チェンバーが10-1Pa以上の場合、全圧を測定するためにはゲートバルブをオープンして真空度をモニターし、分圧測定の時だけゲートバルブをクローズしてバイパスラインのバルブ操作をすることで分圧測定が可能になります。






*上記各システムはターボ分子ポンプまでの構成となります。
                         排気系の構成は、別途ご相談に応じます。



バナースペース

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規格品ガイド

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