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株式会社CPSは理科学機器販売を専門とする提案型の会社です。

TEL. 029-879-5178

〒300-0812 茨城県土浦市下高津4丁目1-46

マニピュレータ/導入機/サンプル周辺機器HEADLINE

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マニピュレータ

真空度仕様    UHV対応
取付フランジ   φ114/152/203CF-F
         *φ114CF-Fタイプは、予備ポート対応不可
移動フランジ   φ70CF-F(ご相談に応じます)
ストローク    XY=±12.5mm、
         Z=50mm以上(*ご相談に応じます)
その他      モーター駆動(オプション)
         XYステージの上にZ駆動機構が構築されたタイプ
         も対応可能

*マニピュレータは実験システムにおいて使い勝手を左右する部分で
 す。堅牢性、駆動距離の正確性はもちろん、基板保持部分との関係
                         性など、様々な条件に最適化したマニピュレータを提供致します。


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ポートアライナー

取付フランジ:φ70CF-Fタップフランジ
移動フランジ:φ70CF-Fタップフランジ
*どちらのフランジもボルト穴はスルーも選択可
XY移動距離:XYともに±4mm程度
           (つまみネジにて調整)
チルト範囲:±5°程度(3本ネジにて調整・CPA070-XYTのみ)
使用真空度:超高真空対応
使用ベローズ:成形ベローズ


超高真空対応のポートアライナーです。
                       XYの2軸・水平移動調整用と、合わせてチルト駆動も可能
                       なタイプの2種類をご紹介します。
                       ネジ付きベローズニップルでは物足りないが、XYステージ
                       までは不要、しかし簡単なフランジの平行移動調整を
                       したい、といった目的に最適です。

                                             詳細はこちら→


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高性能中空ロータリーステージ(AIST特許製品)

真空度仕様    UHV対応
取付フランジ   φ114/152CF-F
移動フランジ   φ114/152CF-F
回転角度     360°連続回転
差動排気部    φ34CF-F
回転振れ量    アキシャル/ラジアル方向=2.5μm以下
基本定格荷重   動的C=23kN、静的C0=36kN
重量       約6kg

*真空光学株式会社製の本機器は、専用ベアリングの開発・採用によ
 り、従来では諦めなくてはいけなかった回転振れに関して、高精度
                         の再現性と保証性能を確立しました。
                         エンコーダーオプションと組み合わせることにより、今まで成し得
                         なかった高精度で再現性のいい回転駆動を提供致します。
                         また、これらの技術を活かした標準型のロータリーステージも用意
                         しております。


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トランスファーロッド

当社では、仏・MECA2000社製品をはじめ様々なメーカーの、目的に応じた最適なトランスファーロッドをご紹介致します。
(画像はMECA2000製 ラックアンドピニオン型・直進/回転トランス
 ファーロッド)






                                   MECA2000の紹介ページはこちら →




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基板保持機構

当社では、現在ご使用になられているサンプルホルダーにマッチした
様々な基板保持機構をご用意致します。
加熱用、冷却用、電流測定用など、仕様・材質・構造まで、詳細打ち
合わせにより最適な技術を提供致します。











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基板加熱機構

特に基板加熱では、分析用の通電加熱方式、輻射加熱方式、電子ビー
ム衝撃型の加熱方式、あるいは蒸着用のウエハ受渡し・輻射加熱・連
続回転など多岐にわたるご要求に対応致します。












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サンプルストック

複数個のサンプルを、同一チェンバー内に保持するストッカーです。
分析用・蒸着用を問わず、また現在ご使用になられているサンプルホ
ルダーに完全対応のサンプルホルダーをご用意致します。














バナースペース

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FAX 029-879-5179
お問い合わせメールアドレス:
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規格品ガイド

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