本文へスキップ

株式会社CPSは理科学機器販売を専門とする提案型の会社です。

TEL. 029-879-5178

〒300-0812 茨城県土浦市下高津4丁目1-46

差圧式マスフローコントローラ/メータSERVICE&PRODUCTS

理科学用品真空コンポーネント真空配管部品/消耗品電流端子/ケーブル

ロゴ 

            MFC マスフロー

■速い制御速度

■超微少流量から大流量まで対応

■高い精度

■高温対応

■混合ガスを含め30種類のガスに対応

■刺激性ガスにも対応
■測定原理

  マスフローコントローラーにはラミナーフロー
  エレメントが組み込まれており、ガスは規則正
  しいラミナーフロー(層流)を形成して流れま
  す。入口、出口において小さな圧力計が差圧を
  測定し、次のポアズイユの式により流量を求め
  ることができます。

  差圧式マスフロー原理

  ■速い制御速度  ■超微少流量から大流量まで対応
・制御応答は30~100msの高速応答。
・より小さい流量や低圧を制御するため、
 応答が非常に速く正確な比例弁とPID制御が
 組み込まれています。
・流量値の設定はフロント部スイッチ、
 アナログ入力、通信より可能。
・豊富な機種により超微少流量(0.5SCCM)から
 大流量(3000SLPM)までラインアップ。
・流量レンジ比は 200:1 (MC/MCRシリーズ)
  ■高い精度  ■高温対応
・通常精度:±(0.8% of Reading + 0.2% F.S.)
・高 精 度:±(0.4% of Reading + 0.2% F.S.)
・特許技術により高い再現性を実現。
 繰り返し精度:±0.2% F.S.
・標準動作温度:-10~+50℃(流体/周囲温度)
 で使用可能
・オプション:-30~+100℃(流体温度)、
   -10~+85℃(周囲温度)での使用が可能
*表示部とセンサー部は約1.8m/6フィートの
 シールドケーブルで接続されます。

     マスフロー 高温タイプ
 ■混合ガスを含め30種類のガスに対応
・コントローラー内部に20種類のガスと10種類の混合ガスの計30種類のガスデータが登録されています。
 空気 / Air  アルゴン / Ar  メタン / CH4
一酸化炭素 / CO   二酸化炭素 / CO2  エタン / C2H6
 水素 / H2  ヘリウム / He 窒素 / N2 
 亜酸化窒素 / N2O  ネオン / Ne  酸素 / O2
プロパン / C3H8  ブタン / n-C4H10  アセチレン / C2H2 
エチレン / C2H4   イソブタン / i-C2H10  クリプトン / Kr
 キセノン / Xe  六フッ化硫黄 / SF6 75% アルゴン +
25% 二酸化炭素 / C-25 
90% アルゴン +
10% 二酸化炭素 / C-10 
 92% アルゴン +
8% 二酸化炭素 / C-8
98% アルゴン +
2% 二酸化炭素 / C-2 
75% 二酸化炭素 +
25% アルゴン / C-75 
 75% アルゴン +
25% ヘリウム / A-75
75% ヘリウム +
25% アルゴン / A-25 
 90% He + 7.5% Ar +
2.5% CO2
(Praxair-Helistar® A1025)
/ A1025
90% Ar + 8% CO2 + 2% O2
(Praxair-Stargon® CS)
/ Star29 
95% アルゴン +
5% メタン / P-5 

・ガス選択モードにより簡単に選択できます。

    マスフロー 設定画面
 ■刺激性ガスにも対応
 ・MCS/MCRSシリーズのマスフローコントローラーでは標準ガスに加え刺激性ガスにも対応できます。
 100% 一酸化窒素 / NO  100% 三フッ化窒素 / NF3
 100% アンモニア / NH3  100% 硫化水素 / H2S
 100% プロピレン / C3H6  100% 冷媒ガス
 不活性ガス 0.5% 二酸化窒素 / NO2  不活性ガス 1000PPM その他ガス
 ■流量レンジ
 0.5 SCCM  50 SCCM  5 SLPM  500 SLPM
 1 SCCM  100 SCCM  10 SLPM  1000 SLPM
 2 SCCM  200 SCCM  20 SLPM  1500 SLPM
 5 SCCM  500 SCCM  50 SLPM  2000 SLPM
 10 SCCM  1 SLPM  100 SLPM  3000 SLPM
 20 SCCM  2 SLPM  250 SLPM  
 ■液晶表示  
・モノクロ液晶表示器を標準搭載。
 質量流量、容積流量、圧力(PSIA)、温度(摂氏)をリアルタイムに表示します。
・TFTカラー液晶、リモート液晶表示も可能です。(オプション)





 マスフロー 本体設定
 ■外部出力  ■信頼性
・通信機能により測定データの出力が可能。
 (RS-232C標準搭載、RS-485にも対応可能)
・アナログ出力も可能です。
 (0~5VDC / 0~10VDC / 1~5VDC /
 4~20mADC)
・NIST(アメリカ国立標準技術研究所)の
 トレーサブル校正証が付いています。
 ■BB-9 マルチドロップボックス  
マスフローコントローラー、マスフローメーターを合わせて9台が接続可能なマルチドロップボックスです。RS-232C、またはRS-485ポートを備えていますのでパソコンとの接続も可能です。  マスフロー ボックス ハブ
 ■Flow Vision SC    
 マスフロー PC コントロールソフト 自動設定、セッション保存、データキャプチャ、ロギング、グラフ化ツールなどの機能を備えたWindowsアプリケーションです。複数のコントローラーの管理も行えます。 マスフロー 使用例


                                         



バナースペース

株式会社CPS

〒300-0812
茨城県土浦市下高津4丁目1-46

TEL 029-879-5178
FAX 029-879-5179
お問い合わせメールアドレス:
miyamoto@chem-phys.com


規格品ガイド

規格品ガイド

MFC.htmlへのリンク